MOEMS静电旋转结构的Pull-in现象分析微纳电子技术论文
【题名】：MOEMS静电旋转结构的Pull-in现象分析微纳电子技术论文(MOEMSJingDianXuanZhuanJieGouDePull-inXianXiangFenXiWeiNaDianZiJiShuLunWen) 【关键词】：旋转结构 MOEMS 小电容 变化率 静电 电极 驱动器 平板 现象分析 稳态 【keywords】：XuanZhuanJieGou MOEMS XiaoDianRong BianHuaLv JingDian DianJi QuDongQi PingBan XianXiangFenXi WenTai 【作者】：岳宁煜 万江文      【来源】： 知识词典 【期刊名称】：微纳电子技术(WeiNaDianZiJiShu) 【国际标准刊号】：1671-4776        【国内统一刊号】：13-1314/TN 【作者单位】：北京邮电大学，北京100876(BeiJingYouDianDaXue，BeiJing100876) 【分类号】：TN912.2 TU998.13      【页码】：-28-31,38      【出版年】：2004.11         对MOEMS静电旋转结构的Pull-in(吸合)现象进行了理论分析，重点研究了平板电极旋转结构和摆动梳齿旋转结构。摆动梳齿旋转结构不出现Pull-in现象的原因是电容变化率为恒值；平板电极旋转结构在电极旋转过程中电容变化率持续增大是Pull-in现象出现的根本原因，设计平板电极旋转驱动器时，如果需要得到较大的稳态旋转角度，可以通过合适的结构参数减小电容变化率的变化速率。
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