【题名】:台面型半导体器件的制造方法物理论文(TaiMianXingBanDaoTiQiJianDeZhiZaoFangFaWuLiLunWen) 【关键词】:半导体器件 台面型 制造 二次击穿 【keywords】:BanDaoTiQiJian TaiMianXing ZhiZao ErCiJiChuan 【作者】:何德湛 陈益清 【来源】: 知识词典 【期刊名称】:物理(WuLi) 【国际标准刊号】:0379-4148 【国内统一刊号】:11-1957 【作者单位】:不详(BuXiang) 【分类号】:TN305 【页码】:-253-254 【出版年】:1992.4
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